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大族激光:接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化

来源:证券时报·e公司    时间:2023-02-06 14:47:18


(资料图片)

证券时报e公司讯,大族激光(002008)2月6日在互动平台表示,目前公司光刻机项目主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化,公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划,并加大研发核心部件国产化。

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